DualScope FMP20

測(cè)量范圍：測(cè)量范圍：磁性：0-1200 μm，渦流，0-800 μm,

測(cè)量精度：0～100μΜ：0.5μΜ，100～1200μΜ：0.5％

菲希爾FD13H測(cè)量探頭 
菲希爾FD13H測(cè)量探頭用于根據(jù)磁感應(yīng)和渦流方法來(lái)測(cè)量涂鍍層厚度，帶微處理芯片的智慧型插入式探頭，彈性測(cè)量系統(tǒng)。
電纜長(zhǎng)度：1.5m
測(cè)量范圍：0-2000 um NF/Fe，0-2000 um Iso/NF
測(cè)量誤差：0-50um：≤1um，50-1000um：≤2%，1000-2000um：≤3%
重復(fù)精度：0-100um：≤0.5um， 100-2000um：≤0.5%
菲希爾FD13H測(cè)量探頭包括：Fe 基材，Al 基材，各兩片標(biāo)準(zhǔn)片

DualScope FMP20特性
• 可連接所有磁感應(yīng)和電渦流探頭
• 自動(dòng)識(shí)別探頭
• 自動(dòng)識(shí)別基材(FMP20)
• 用戶友好操作界面
• USB接口可連接計(jì)算機(jī)
• 240x160像素的大尺寸、高對(duì)比度顯示器
• 通電后即可開(kāi)始測(cè)量
• 放置探頭后自動(dòng)獲得測(cè)量數(shù)據(jù)
• 可儲(chǔ)存1000個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù)
• 獲得測(cè)量數(shù)據(jù)后有聲音信號(hào)
• 統(tǒng)計(jì)評(píng)估功能，例如：平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、小
值、大值、范圍
• 通過(guò)ZERO鍵校零可快速減少樣品形狀的影響
• 另外用1或2片標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)儀器，可進(jìn)一步減少形狀
影響
• 如果材質(zhì)和幾何形狀差別很大，可通過(guò)主校準(zhǔn)建立
準(zhǔn)確的特征曲線
• 主校準(zhǔn)信息儲(chǔ)存在探頭內(nèi)
• 兩種測(cè)量單位：μm和mils
• 儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)或連續(xù)操作的時(shí)間可調(diào)節(jié)

工作原理：

磁感應(yīng)測(cè)量原理

采用磁感應(yīng)原理時(shí)，利用從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來(lái)測(cè)定覆層厚度。也可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小，來(lái)表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。利用磁感應(yīng)原理的測(cè)厚儀，原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測(cè)頭放在被測(cè)樣本上時(shí)，儀器自動(dòng)輸出測(cè)試電流或測(cè)試信號(hào)。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭，測(cè)量感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的大小，儀器將該信號(hào)放大后來(lái)指示覆層厚度。近年來(lái)的電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù)，利用磁阻來(lái)調(diào)制測(cè)量信號(hào)。還采用設(shè)計(jì)的集成電路，引入微機(jī)，使測(cè)量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高（幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)量級(jí)）。現(xiàn)代的磁感應(yīng)測(cè)厚儀，分辨率達(dá)到0.1um，允許誤差達(dá)1%，量程達(dá)10mm。

電渦流測(cè)量原理

高頻交流信號(hào)在測(cè)頭線圈中產(chǎn)生電磁場(chǎng)，測(cè)頭靠近導(dǎo)體時(shí)，就在其中形成渦流。測(cè)頭離導(dǎo)電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個(gè)反饋?zhàn)饔昧勘碚髁藴y(cè)頭與導(dǎo)電基體之間距離的大小，也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。由于這類測(cè)頭專門(mén)測(cè)量非鐵磁金屬基材上的覆層厚度，所以通常稱之為非磁性測(cè)頭。非磁性測(cè)頭采用高頻材料做線圈鐵芯，例如鉑鎳合金或其它新材料。與磁感應(yīng)原理比較，主要區(qū)別是測(cè)頭不同，信號(hào)的頻率不同，信號(hào)的大小、標(biāo)度關(guān)系不同。與磁感應(yīng)測(cè)厚儀一樣，渦流測(cè)厚儀也達(dá)到了分辨率0.1um，允許誤差1%，量程10mm的高水平。

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